上海费米激光科技有限公司-皮秒紫外超精细加工系统-微孔加工

紫外皮秒激光超精细加工，最小线宽（孔径）4μm，加工幅面500*400mm，可定制，精度±3μm。

1. 采用进口高功率高稳定紫外皮秒激光器直接烧蚀气化材料，无热影响区，最小4μm加工光斑，亚微米级粗糙度和直线度。

2. 通过精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现小幅面高速精细加工，加工精度优于±3μm，局部尺寸精度优于2μm。

3. 通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工，重复精度高达±1μm。

4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构精细加工要求。

5. 旁轴高分辨率工业网口相机用于振镜全幅面误差校正，保证系统长期使用稳定性和精度；同时，用于高精度对焦，刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。

6. 支持工件高精度定位加工，自带偏移补偿功能。

7. 支持二维、三维等各种图形亚微米级分辨率加工处理。

8. 系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。

9. 可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料，实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。

应用范围：

生物芯片制备、半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、精密微型模具成型

参数：